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桌面式隔振平臺 大多數(shù)光學實驗或工業(yè)生產(chǎn)都對系統(tǒng)穩(wěn)定性有較高的要求。各種因素造成的振動會導致儀器測量結果的不穩(wěn)定性和不準確性,嚴重干擾生產(chǎn)和實驗的進行。
隨著*的設備和工藝的發(fā)展,使納米量級的測量成為可能。例如,變相光學干涉儀測量物體的表面粗糙度,目前可以達到1納米的分辨率。在半導體領域,已生產(chǎn)出線寬在亞微米量級的集成電路,提出測量準確率小于50納米的精度要求。
為了提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性,我們可以從以下的幾個方面來著手。
1、將系統(tǒng)與振源隔離
外界的振源來源很多,比如地面的自振,各種聲音等等。但是影響較大的是各種低頻的振源,主要集中在10~100Hz頻率內(nèi)。將系統(tǒng)與這些振源隔離可以有效的提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性。采用大阻尼的空氣彈簧支撐方式可以較好的將系統(tǒng)與振源隔離。
2、控制振動的作用
將系統(tǒng)組裝成動態(tài)的剛性結構可以保證系統(tǒng)內(nèi)部的相對穩(wěn)定性,且可以降低在外界的影響下產(chǎn)生共振的幾率,提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
3、控制靜力矩的作用
桌面式隔振平臺的硬重比對于其共振頻率有著重要的影響。較高的硬重比可以提高桌面式隔振平臺的共振頻率,從而降低其在外界影響下的振動。而且在外力作用下,具有較高硬重比的桌面式隔振平臺可以在小的重量下產(chǎn)生小的變形,增加系統(tǒng)內(nèi)部的剛性。內(nèi)部采用蜂窩狀支撐結構的桌面式隔振平臺可以充分的提高硬重比,達到提高系統(tǒng)性能的目的。
4、控制溫度變化
隨著時間的延續(xù),不規(guī)則溫度變化會造成漸漸的結構彎曲。減小溫度效應的關鍵在于控制環(huán)境減少溫度變化。例如,避免在桌面式隔振平臺下放置散熱設備,隔絕熱源設備和硬件,如光源、火焰等。
5、盡可能將臺面設計成對溫度不敏感的
良好的熱傳導性可起到作用,然而,在特殊的應用中,選用不隨溫度變化而改變外形尺寸的特殊材料是必要的。例如超不脹鋼,具有極小的熱膨脹系數(shù)。一米長的超不脹鋼在溫度變化1K時膨脹長度約0.2微米。