TMCS TACIS 4主動隔振系統(tǒng)，用于半導(dǎo)體隔振

產(chǎn)品概述

STACIS®4是**的主動隔振系統(tǒng)。它裝有慣性振動傳感器，配合準(zhǔn)確的控制算法與*的壓電作動器。STACIS 4可實(shí)時偵測地面振動再憑借壓電作動器的收縮或膨脹即刻消除地面振動。全新的STACIS 4建立在我們成熟的STACIS技術(shù)基礎(chǔ)上，該技術(shù)被全Q十個大半導(dǎo)體制造商中的九家所使用。

起初STACIS是為半導(dǎo)體工廠的精密光刻機(jī)，計量儀和檢測設(shè)備而設(shè)計，如今是嘈雜環(huán)境中z敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)隔振解決方案，包括但不限于故障分析，納米技術(shù)研究，納米制造，結(jié)構(gòu)生物學(xué)和材料研究等應(yīng)用。
STACIS 4包括新改進(jìn)的，低噪聲的數(shù)字控制器，DC-2020帶有雙核處理器。這種新的控制系統(tǒng)為使用者提供了一個易用的圖形用戶界面(GUI)。

STACIS 4建立在前幾代的成功架構(gòu)上，增加了*的控制算法和新的專有技術(shù)。以前無法實(shí)現(xiàn)對建筑物地面所有頻率的振動消除，但特別是10Hz以下的振動，對高分辨率成像和計量來說*敏感的。當(dāng)與FloorSense™技術(shù)相結(jié)合時，STACIS 4在2Hz時可減少60 dB的建筑物地面振動，在1Hz時可減少27dB。

TMCS TACIS 4主動隔振系統(tǒng)，用于半導(dǎo)體隔振

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：

STACIS 4相比于氣浮支腿更加堅固可靠，且不存在氣浮隔振系統(tǒng)離不開氣源的局限性。它無氣浮支撐，并且與主動的氣浮系統(tǒng)不同。STACIS 4可以放置在具有內(nèi)部主動空氣隔離系統(tǒng)的設(shè)備下面，且兩個隔振系統(tǒng)相互兼容。
     特別的串聯(lián)設(shè)計和專有的壓電技術(shù)所產(chǎn)生0.2 Hz至150 Hz的寬帶隔離，在2Hz時可減少99.9%的振動。
     比STACIS III更好的振動控制，與行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案相比，STACIS 4將2 Hz的振動控制提高了60 dB以上。
     穩(wěn)定的串聯(lián)設(shè)計允許使得您安裝后即可，無需再次安裝調(diào)試，不像并行式設(shè)計本質(zhì)上是不穩(wěn)定的，需要頻繁調(diào)整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允許兩級振動控制設(shè)計，可以在STACIS III系統(tǒng)之上結(jié)合被動或主動的平行平臺。隨著對儀器的振動分辨率的要求越來越高，兩級設(shè)計正變得越來越普遍。
     STACIS 4的性能相當(dāng)于在穩(wěn)定的地面上減少5個VC曲線的振動。這種性能使用戶能夠靈活地在不理想的振動環(huán)境中安裝儀器，從而在設(shè)施布局和設(shè)計方面具有更大的適配性。

產(chǎn)品規(guī)格

應(yīng)用案例：

森泉為您的科研事業(yè)添磚加瓦：

激光控制：激光電流源、激光器溫控器、激光器控制、伺服設(shè)備與系統(tǒng)等等

探測器：光電探測器、單光子計數(shù)器、單光子探測器、CCD、光譜分析系統(tǒng)等等

定位與加工：納米定位系統(tǒng)、微納運(yùn)動系統(tǒng)、多維位移臺、旋轉(zhuǎn)臺、微型操作器等等

光源：半導(dǎo)體激光器、固體激光器、單頻激光器、單縱模激光器、窄線寬激光器、光通訊波段激光器、CO2激光器、中紅外激光器、染料激光器、飛秒超快激光器等等

光機(jī)械件：用于光路系統(tǒng)搭建的 gao 品 zhi 無應(yīng)力光機(jī)械件，如光學(xué)調(diào)整架、鏡架、支撐桿、固定底座等等

光學(xué)平臺：主動隔振平臺、氣浮隔振臺、實(shí)驗桌、剛性工作臺、面包板、隔振、隔磁、隔聲綜合解決方案等等

光學(xué)元件：各類晶體、光纖、偏轉(zhuǎn)鏡、反射鏡、透射鏡、半透半反鏡、濾光片、衰減片、玻片等等

染料：激光染料、熒光染料、光致變色染料、光致發(fā)光染料、吸收染料等等