TMC氣動隔振系統(tǒng)是追求高隔振性能的超精密儀器的工具設(shè)計師的手選解決方案。TMC現(xiàn)在提供行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™隔振器，它們有不同的承重能力、阻尼水平和調(diào)平版本可供選擇，適合各種應(yīng)用。

這些隔振器是OEM應(yīng)用的理想選擇，采用模塊化、可互換和可升級的設(shè)計。此外，為了確保您定的版本能夠滿足您的穩(wěn)定時間和隔振要求，TMC工程師可以使用我們的“移動工作臺應(yīng)用程序模型"為您的配置進行建模。

超高阻尼空氣隔振器適用大型設(shè)備LCD光刻機

UltraDamp™隔振器

TMC現(xiàn)在提供更主動的阻尼UltraDamp™。適用于需要快速穩(wěn)定有效載荷的高力、高速XY電動工作臺的有效載荷。UltraDamp具有及高的阻尼水平，可確?？諝飧粽衿鞯墓舱耦l率不會超過3-5 dB。適用于LCD、PVC檢測、光刻機以及其他具有高力電動工作臺的儀器。

優(yōu)點：

結(jié)合了自調(diào)平Gimbal Piston™空氣隔振器的優(yōu)勢，并具有極其主動的阻尼作用

非常適合具有機器人運動或電動工作臺的有效載荷，可提供所需的隔振并主動穩(wěn)定有效負載引起的運動

更快的工具吞吐量和更高的產(chǎn)量

從4-5 Hz開始的水平和垂直隔振

共振的最小放大（3-5 dB） 模塊化設(shè)計?？缮壍紼lectro-Damp®主動消振

性能：

比較GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™之間的阻尼水平

超高阻尼空氣隔振器適用大型設(shè)備LCD光刻機

應(yīng)用照片：